第310章、一代光刻机
第310章、一代光刻机 (第2/3页)
局。
芯片生产线中最核心的设备光刻机,是马由最先要解决的难题之一。它跟照相机有相似的原理和构造,它的底片就是涂满光敏胶的硅片。电路图案经光刻机,缩微投射到底片,蚀刻掉一部分胶,露出硅面做化学处理。制造芯片,要重复几十遍这个过程。
位于光刻机中心的镜头,由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光材料+高质量抛光。光刻机使用的镜片,得数万米元一块。这时阿斯麦尔光刻机镜片都是靠蔡司技术打底。其他如尼康等光刻机厂,本身就是光学工业企业。
马由布局在姑苏的光学工厂,通过这几个月生产各种影像设备,逐步掌握了蓝星集团自研的各种高端光学制造设备和仪器。其中一个小组,已秘密开始研制光刻机镜片。
有顶级的镜头和光源,还需极致的机械精密制造。
光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片。两者需始终同步,误差在2纳米以下。两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多。有专家形容道:“相当于两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,不能刻坏了。”
而且,温湿度和空气压力变化会影响对焦。机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,精准的测温传感器。最好的光刻机,包含13个分系统,3万个机械件,200多个传感器,每一个都要稳定。现在马由要解决的就是如此众多的精密构件加工问题。
京城电子厂已完成将所有优盘的生产线,转移到西京和鹏城两地。目前已转产集团其他企业所需的生产线,和各种设备的控制系统、科研设备等精密仪器。现在是满负荷状态。
姑苏的蓝星产业园已全部生产摄像机、摄影机、数字后期处理设备、以及数码相机,也已经满负荷。
现在可以安排生产光刻机等芯片生产线设备的工厂,还有京城电子厂二期和蓉城、鹭岛等工厂。
京城电子厂二期是收购了798其他兄弟工厂,如718及旗下的706、707、797后,在原厂址上进行改造而成。
718联合总厂于1951年建成,来自民主德国设计师,建造了当时亚洲首屈一指116.19万平方米的总面积的巨大工厂,无论规模还是其建筑工艺在当时的极为辉煌。
现在虽拆除了部分工厂配套辅助用房、住宅、和部分车间。但还60多万平方米的老建筑,经过整修加固,全部重新按1万-1000级无尘标准装修。还有2座核心元器件车间,按10级防尘标准装修。
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